电容式传感器是将被测非电量的变化转换成电容量的变化，通过测量电容推算出被测非电量的传感器。它的敏感部分就是具有可变参数的电容器。其最常用的形式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器。
电容式传感器的核心部分就是具有可变参数的电容器。若忽略边缘效应，平板电容器的电容C=εA／δ，式中ε为极间介质的介电常数，A为两电极互相覆盖的有效面积,δ为两电极之间的距离。δ、A、ε 三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化，如果保持其中两个不变，而仅仅改变其中一个参数，就可以把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可以转化为电量输出。
根据测量原理不同，电容式传感器可分为变面积型传感器；变极距型传感器；变介质型传感器。极距变化型一般用来测量微小的极距变化。面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移。介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。
可进行非接触测量； 功率小、阻抗高; 电容器小几十～几百微法，具有高输出阻抗; 本身发热影响小; 可动质量小,具有高的固有频率动态响应特性好； 静电引力小（极板间），工作所需作用力很小。
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