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测量显微镜
阅读:553时间:2022-06-09 10:59:03

    测量显微镜,采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外,还可以作360度的旋转,亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头,作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。

107JA

    产品简介:

    测量显微镜107JA,采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。

    107J为光栅数显的小型精密测量仪器。工作台除作X、Y坐标的移动外,还可以作360o的旋转,亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头,作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。是一种理想的多用途的小型精密测量仪器。

    107JA测量显微镜

    技术参数:

    1、镜筒:粗动:调节范围 90毫米

    微动:调节范围2毫米

    高(Z)测量:范围1毫米,小读数0.001毫米(比较测量)

    镜筒:双目镜筒 俯角45º

    2、工作台:左右(X轴):移动范围25毫米

    前后(Y轴):移动范围25毫米

    分辨率:1微米

    旋转:360º

    3、照明系统:光源:透射照明,8V12W 蓝、绿色滤光片

    反射照明,8V12W 磨沙灯泡、绿色滤光片

    斜 照 明,8V12W绿色滤光片

    电源:AC220±22V 50/60Hz

    4、光学系统:目镜:BWF 10X

    物镜:4X、工作距离17.5、焦距28.8

    10X、工作距离11.6、焦距15.4

    40X、工作距离0.66、焦距4.4

    5、光学放大倍数:

    放大倍数为:目镜x物镜

    电子放大倍数为:35x~2500x



基本原理

    与STM类似,在AFM中,使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描。当针尖和样品表面的距离非常接近时,针尖的原子与样品表面的原子之间存在极微弱的作用力(10-12~10-6N),此时,微悬臂就会发生微小的弹性形变。针尖与样品之间的力F与微悬臂的形变之间遵循虎克定律:F=-k*x ,其中,k为微悬臂的力常数。所以,只要测出微悬臂形变量的大小,就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。针尖与样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系,所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖与样品之间的作用力恒定,即保持为悬臂的形变量不变,针尖就会随样品表面的起伏上下移动,记录针尖上下运动的轨迹即可得到样品表面形貌的信息。这种工作模式被称为“恒力”模式(Constant Force Mode),是使用广泛的扫描方式。

    AFM的图像也可以使用“恒高”模式(Constant Height Mode)来获得,也就是在X,Y扫描过程中,不使用反馈回路,保持针尖与样品之间的距离恒定,通过测量微悬臂Z方向的形变量来成像。这种方式不使用反馈回路,可以采用更高的扫描速度,通常在观察原子、分子像时用得比较多,而对于表面起伏比较大的样品不适用。


技术参数

    技术参数:

    1、镜筒:粗动:调节范围 90毫米,微动:调节范围2毫米,高(Z)测量:范围1毫米,小读数0.001毫米(比较测量),镜筒:双目镜筒 俯角45?;

    2、工作台:左右(X轴):移动范围25毫米,前后(Y轴)

    测量显微镜

    :移动范围25毫米,分辨率:1微米,旋转:360?;

    3、照明系统:光源:透射照明,8V12W 蓝、绿色滤光片,反射照明,8V12W 磨沙灯泡、绿色滤光片,斜 照 明,8V12W绿色滤光片,电源:AC220±22V 50/60Hz;

    4、光学系统:目镜:BWF 10X;物镜:4X、工作距离17.5、焦距28.8,10X、工作距离11.6、焦距15.4,40X、工作距离0.66、焦距4.4;

    5、X---Y轴测量范围:50×13mm;

    6、测微器分度值:0.01mm;

    7、圆工作台角度测量范围:0°/360°;

    8、仪器测量准确度:仪器示值误差±(5+L/15);

    9、放大倍数 25×/100×


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