所谓准分子激光，是指受激二聚体所产生的激光。之所以产生称为准分子，是因为它不是稳定的分子，是在激光混合气体受到外来能量的激发所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子，其寿命仅为几十毫微秒。 准分激光是一种气体脉冲激光，所产生的是波长为193nm的准分子激光，它是一种超紫外线光波，此波长的激光吸收范围窄，激光的能量几乎完全被角膜上皮细胞和基质吸收，超过这个范围的组织不会吸收到激光，每一个激光脉冲可以切削0.2到0.25um厚度的生物组织，所以周围的组织不会损伤。
    准分子激光与生物组织作用时发生的不是热效应，而是光化反应，所谓光化反应，是指组织受到远紫外光激光作用时，会断裂分子之间的结合键，将组织直接分离成挥发性的碎片而消散无踪，对周围组织则没有影响，达到对角膜的重塑目的，能精确消融人眼角膜预计去除的部分空间精确度达细胞水平，不损伤周围组织。它的波长短，不会穿透人的眼角膜，因此对于眼球内部的组织没有任何不良的作用。
    准分子激光在医学上主要用于屈光不正的治疗，如用PRK、LASIK、LASEK等方法进行屈光不正的治疗，是目前临床上应用比较普遍、安全、快捷、有效、稳定的屈光不正治疗方法。

    准分子激光首先被应用在工业上:
    美国IBM公司开始使用并且改进准分子激光技术，主要应用在计算机芯片的制造以及塑料物质上蚀刻精确的图形。
    1980年IBM公司应用193nm准分子激光刨光钻石。
    1982年IBM将准分子激光技术应用在半导体光刻工艺中.
    1986年AT&T贝尔实验室研制出台准分子激光分步投影光刻机.
    目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积，物理气相沉积，磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁等方面,微机电系统相关的微制造技术.
    准分子激光于90年代始在医学上得到运用：
    眼科：使用193nm准分子激光进行LASIK手术，矫治屈光不正(近视、远视、散光)。
    1983年，哥伦比亚大学的MD.Stephen Trokel以及IBM的Srinicasan首先提出用激光治疗近视的构思，并在动物角膜上开始实验。
    1987年，Trokel等人将IBM公司发明用以切割芯片的准分子激光用于人眼角膜上，应用准确计量的准分子激光直接汽化角膜的部分组织，以达到改变眼角膜曲度的目的。
    九十年代初，美国FDA开始准分子激光角膜表面切削术(Photorefractive keratectomy,PRK)的临床实验，开始了激光治疗近视。
    1990年，Dr Pallikaris、Buratto，Galvis和 Dr Ruiz结合ALK的技术与先进激光仪结合而发明了准分子激光角膜原位磨镶术(Laser-Assisted in Situ Keratomileusis,LASIK)。经过几年的临床实验效果跟踪，1995年10月FDA最终正式批准PRK手术可以治疗600度以内的近视，400度以内的散光。
    1995至1999年，FDA又相继批准了1200度以内的近视、600度以内散光和600度以内远视的LASIK治疗。
    1993年中国卫生部首次批准引进的两台准分子激光治疗仪在北京同仁医院以及协和医院应用PRK技术,1995年开始应用LASIK技术。
    1996年台湾通过人体实验而正式核准使用PRK技术.
    1997年意大利Rovigo医院眼科中心Massino lamellion MD发明准分子激光角膜上皮磨镶术(laser epithelial keratomileusis,LASEK)
    1999年,波前引导激光手术技术(Customized LASIK)被开发;
    2001年,美国开始在临床应用此项技术。
    2002年10月，FDA核准了此项技术，第二年5月开始正式普及。
    皮肤：使用308nm准分子激光治疗白癜风、银屑病和过敏性皮炎。
    心血管:准分子激光在心血管疾病中主要用于治疗冠心病、周围血管疾病、心脏瓣膜病、先天性心脏病和肥厚性心肌病等。
    直接心肌血运重建术(direct myocardial revascularization，DMR)，也称为经心肌血运重建术(transmyocardial revascularization，TMR)或激光心肌血运重建术(transmyocardial laser revascularization，TMLR)，是近年来应用于心脏外科临床的新技术。
    经皮直接心肌血运重建术(percutaneous direct myocardial revascularization，PDMR)是在TMR技术基础上发展起来的用于心脏内科临床的一种新型冠心病介入治疗技术，是冠心病治疗史上的一项新进展。这些都为过去常规内外科治疗不能有效的治疗的冠心病病人提供了一种新的方法。

    准分子激光治疗近视眼最早是1985年美国医生开始在临床应用的，近年来发展迅速，九十年代初传入中国。准分子激光治疗高、中、低度近视的手术效果远远优于以往的屈光手术，因此，广为全世界的眼科医师所瞩目。但仍有很多人对它产生怀疑，怕眼睛被打穿、烧焦。
    一般来说，准分子激光是波长很短的紫外光，它与生物组织发生的是光化学效应而不是热效应，因此，不会产生热损伤，更谈不上烧焦。
    另外，还有人顾虑会打穿眼球，这种顾虑是多余的，准分子激光波长短，穿透力弱，每个脉冲只能切削0.25um的深度，是在细胞下水平切削，切削极精确，因此打穿眼球是不可能的。
    有人担心会伤害眼睛的其他部位，这也是多虑，因为准分子激光器都有红外线跟踪系统，当你的眼球偏转超出正常范围，激光会自动停止击射，保证安全治疗。
    激光治疗近视的原理是，近视眼是由于眼球的前后径太长或者眼球前表面太凸，外界光线不能准确会聚在眼底所致。准分子激光角膜屈光治疗技术(PRK和LASIK技术)，是用电脑精确控制的准分子激光的光束使眼球前表面稍稍变平，从而使外界光线能够准确地在眼底会聚成像，达到矫正近视的目的。
    准分子激光是氟氩气体混合后经激发产生的一种人眼看不见的紫外线光束，属冷激光，能精确消融人眼角膜预计去除的部分而不损伤周围组织和其他组织器官。

    屈光性角膜手术中通过激光的高能爆破效应(气化)来切削角膜层，只有万分之三毫米的厚度，目前，准分子激光由于角膜中心区域(直径大约60~80mm)大小的局限也受到了限制，而治疗过程中激光只切削了角膜厚度的5~10%(角膜切削厚度和图形是由术前检查和计算决定的)，而这些数据通过眼科医生输入计算机系统中计算出切削的图形