20世纪20年代瑞典的G.C.de赫维西和R.格洛克尔曾先后试图应用此法从事定量分析，但由于当时记录和探测仪器水平的限制，无法实现。40年代末，随着核物理探测器的改进,各种计数器相继应用在X射线的探测上，此法的实际应用才成为现实。1948年H.弗里德曼和 L.S.伯克斯制成了一台波长色散的X射线荧光分析仪，此法才开始发展起来。此后,随着X射线荧光分析理论和方法的逐渐开拓和完善、仪器的自动化和计算机水平的迅速提高，60年代本法在常规分析上的重要性已充分显示出来。70年代以后，又按激发、色散和探测方法的不同，发展成为X射线光谱法（波长色散）和X射线能谱法（能量色散）两大分支，两者的应用现已遍及各产业和科研部门。

　　X射线荧光光谱仪主要由激发、色散、探测、记录及数据处理等单元组成。激发单元的作用是产生初级X射线。它由高压发生器和X光管组成。后者功率较大，用水和油同时冷却。色散单元的作用是分出想要波长的X射线。它由样品室、狭缝、测角仪、分析晶体等部分组成。通过测角器以1∶2速度转动分析晶体和探测器，可在不同的布拉格角位置上测得不同波长的X射线而作元素的定性分析。探测器的作用是将X射线光子能量转化为电能，常用的有盖格计数管、正比计数管、闪烁计数管、半导体探测器等。记录单元由放大器、脉冲幅度分析器、显示部分组成。通过定标器的脉冲分析信号可以直接输入计算机，进行联机处理而得到被测元素的含量。

　　X射线荧光光谱仪又根据一次能够分析单个元素或多个元素，而有单道与多道之分。贵金属首饰的x射线荧光光谱分析法是国际金融组织推荐的检测方法之一。由于元素及含量直接显示，所以测定起来很简单，尤其是定性分析和半定量分析快速、准确。定量分析比定性和半定量分析都要复杂，因为它需要一个精确比较的标准。具体的步骤是：

　　1．做好标样的定量变化工作曲线；

　　2．将被测样品放入样品室测试，记录元素和含量参数；

　　3．翻动被测样品，再记录元素和含量参数；

　　4．根据平均的含量参数查标准工作曲线，从工作曲线中找到元素的准确含。

　　l. 分析的元素广，几乎元素周期表上前92号的元素都能分析；

　　2．分析含量范围广，从lOO％到十万分之几几乎都能测，精度并不亚于其他检测方法；

　　3．样品在分析过程中不受破坏；

　　4．快速方便，可在一二分钟内完成二三十个元素的测定；

　　5．与分析样品的形态无关，固体、液体、块、粒、粉末、薄膜或任意尺寸的样品均可分析；

　　6. 相对于其他无损检测方法，X射线的能量要大得多(满功率可达2.7XW)，X射线的透射深度近lmm，它可较好地解决镀金、包金等样品的测试问题；

　　7．对操作人员的技术熟练程度要求不高。