静电控制微波电子管（微波三极管与四极管）、普通微波管和新原理器件。微波三极管、四极管是在静电控制电子管基础上发展起来的工作于微波波段的三、四极管。属于普通微波管的有磁控管、正交场放大管及其他正交场器件;直射速调管、反射速调管;行波管、返波管。新原理器件包括回旋管、自由电子激光器等。此外，微波管还包括微波气体放电开关管。

　　微波能量是由微波发生器产生的，微波发生器包括微波管和微波管电源两个部分。其中微波管电源（简称电源或微波源）的作用是把常用的交流电能变成直流电能，为微波管的工作创造条件。微波管是微波发生器的核心，它将直流电能转变成微波能。
　　微波管有微波晶体管和微波电子管两大类。微波晶体管输出功率较小，一般用于测量和通讯等领域。微波电子管种类很多，常用的有磁控管、速调管、行波管等。它们的工作原理不同、结构不同、性能各异，在雷达、导航、通讯、电子对抗和加热，科学研究等方面都得到广泛的应用。由于磁控管的结构简单、效率高、工作电压低、电源简单和适应负载变化的能力强，因而特别适用于微波加热和微波能的其他应用。磁控管由于工作状态的不同可分为脉冲磁控管和连续波磁控管两类。微波加热设备主要工作于连续波状态，所以多用连续波磁控管。
　　磁控管是一种用来产生微波能的电真空器件。实质上是一个置于恒定磁场中的二极管。管内电子在相互垂直的恒定磁场和恒定电场的控制下，与高频电磁场发生相互作用，把从恒定电场中获得能量转变成微波能量，从而达到产生微波能的目的。

　　20世纪30～40年代出现利用电子速度-密度调制的渡越时间微波管(常称普通微波管)，将工作波长推进到厘米波。由于普通微波管受到电子空间电荷拒斥力等限制，工作波长不能达到毫米波的短波端，所以60～70年代又出现回旋管等新原理微波管。此外，微波管还包括微波气体放电开关管。微波电子管已成为真空电子器件的一个重要组成部分。但进入60～70年代以来，由于同半导体微波器件的激烈竞争，在低频率、小功率方面 ，微波电子管的生产数量逐年下降 。在大功率、高频率和宽频带方面，微波电子管能力还优于半导体器件。