EBMS2012A-601 时间：2025/9/2 3:23:03 阅读：23

EBMS2012A-601是一款由EPCOS（现为TDK公司旗下品牌）制造的多层压电陶瓷执行器，广泛应用于需要高精度微位移控制的系统中。该器件结合了压电陶瓷的高精度和多层结构设计，使得其在相对较小的体积下能够提供较大的驱动力和位移范围，常用于精密定位、微机电系统（MEMS）、光学对准、纳米技术以及精密机械控制等领域。

参数

型号：EBMS2012A-601
　　类型：多层压电陶瓷执行器
　　尺寸：20mm x 12mm x 12mm
　　最大位移：约100μm（在额定电压下）
　　额定电压：150V
　　工作温度范围：-30°C至+85°C
　　材料：PZT（锆钛酸铅）
　　电容：约1.2μF
　　共振频率：约1.2kHz
　　最大推力：约100N
　　绝缘电阻：>10GΩ

特性

EBMS2012A-601具备高精度与高稳定性的特点。其多层结构设计不仅提升了输出位移，还增强了器件的机械强度和耐久性。
　　该执行器采用PZT材料，具有良好的压电响应特性，能够在微米乃至纳米级别实现精确控制。
　　此外，该器件具有较高的推力输出能力，适用于需要高精度和高力输出的应用场景。
　　由于其紧凑的尺寸，EBMS2012A-601可以轻松集成到各种精密设备中，且在工作温度范围内具有良好的热稳定性，适应多种工作环境。
　　该执行器的高电容特性使其在驱动时能够快速响应，适用于高频操作或快速调节的系统中。

应用

EBMS2012A-601广泛应用于需要高精度运动控制的领域。例如，在半导体制造设备中用于晶圆对准和微调；在光学系统中用于激光束的精确对准和聚焦；在生物医学设备中用于微流体控制和显微镜平台调节；在工业自动化系统中用于精密机械定位和振动控制。
　　此外，该执行器也适用于科研领域，如纳米技术研究、材料科学实验以及精密测量仪器中。
　　由于其高推力和大位移能力，EBMS2012A-601也常用于主动减振系统、精密阀门控制以及微机电系统（MEMS）的驱动单元。
　　该器件还可用于高精度的3D打印设备、扫描探针显微镜（SPM）以及光学干涉仪等精密仪器中。