EBMS2012A-601是一款由EPCOS(现为TDK公司旗下品牌)制造的多层压电陶瓷执行器,广泛应用于需要高精度微位移控制的系统中。该器件结合了压电陶瓷的高精度和多层结构设计,使得其在相对较小的体积下能够提供较大的驱动力和位移范围,常用于精密定位、微机电系统(MEMS)、光学对准、纳米技术以及精密机械控制等领域。
型号:EBMS2012A-601
类型:多层压电陶瓷执行器
尺寸:20mm x 12mm x 12mm
最大位移:约100μm(在额定电压下)
额定电压:150V
工作温度范围:-30°C至+85°C
材料:PZT(锆钛酸铅)
电容:约1.2μF
共振频率:约1.2kHz
最大推力:约100N
绝缘电阻:>10GΩ
EBMS2012A-601具备高精度与高稳定性的特点。其多层结构设计不仅提升了输出位移,还增强了器件的机械强度和耐久性。
该执行器采用PZT材料,具有良好的压电响应特性,能够在微米乃至纳米级别实现精确控制。
此外,该器件具有较高的推力输出能力,适用于需要高精度和高力输出的应用场景。
由于其紧凑的尺寸,EBMS2012A-601可以轻松集成到各种精密设备中,且在工作温度范围内具有良好的热稳定性,适应多种工作环境。
该执行器的高电容特性使其在驱动时能够快速响应,适用于高频操作或快速调节的系统中。
EBMS2012A-601广泛应用于需要高精度运动控制的领域。例如,在半导体制造设备中用于晶圆对准和微调;在光学系统中用于激光束的精确对准和聚焦;在生物医学设备中用于微流体控制和显微镜平台调节;在工业自动化系统中用于精密机械定位和振动控制。
此外,该执行器也适用于科研领域,如纳米技术研究、材料科学实验以及精密测量仪器中。
由于其高推力和大位移能力,EBMS2012A-601也常用于主动减振系统、精密阀门控制以及微机电系统(MEMS)的驱动单元。
该器件还可用于高精度的3D打印设备、扫描探针显微镜(SPM)以及光学干涉仪等精密仪器中。
EBMS2012A-602, EBMS2015A-601, NAC2012-H150X, P-882.11