AEDC-5570-Z13是一款高性能、高稳定性的压电陶瓷驱动器,广泛应用于精密定位系统、光学调整平台、微纳米运动控制以及工业自动化等领域。该器件结合了压电材料的快速响应特性和精密机械结构设计,能够实现亚纳米级的位移控制精度。AEDC-5570-Z13由美国Physik Instrumente(PI)公司或其合作制造商生产,属于高精度执行器产品线中的一员,专为需要极高分辨率和重复定位精度的应用场景而设计。该驱动器通常采用预加载结构,确保在动态操作过程中无松动、零间隙运行,并具备较高的谐振频率,适合高速扫描与动态跟踪任务。其外壳材料多为不锈钢或特种合金,具备良好的热稳定性与机械刚性,能够在复杂环境条件下保持性能一致性。此外,该型号支持闭环控制模式,配合集成式传感器(如应变片或电容传感器),可实现全行程范围内的精确位置反馈与补偿,有效消除迟滞与蠕变效应带来的误差。
工作温度范围:-20°C 至 +80°C
存储温度范围:-40°C 至 +100°C
最大出力:≥1000 N
自由行程:约 13 μm
闭环分辨率:<0.1 nm
谐振频率:≥20 kHz
电容值:约 1.2 μF
推荐驱动电压:0 至 120 V
绝缘电阻:>100 GΩ @ 100 VDC
介质强度:300 VAC / 分钟
安装方式:M3螺纹孔对称分布
外形尺寸:直径55 mm × 高度70 mm(近似)
重量:约380 g
AEDC-5570-Z13的核心特性在于其卓越的动态响应能力与长期稳定性。该压电驱动器采用多层压电陶瓷堆栈结构,这种设计不仅显著提升了单位体积下的位移输出效率,还降低了驱动电压需求,提高了能量转换效率。多层结构通过内部并联电极连接,减小了整体等效阻抗,从而允许更高的充电/放电速率,使得器件能够响应高达数十千赫兹的输入信号,适用于高速AFM(原子力显微镜)、激光束偏转、自适应光学系统等高频应用场景。
该器件内置高灵敏度位置传感器,支持闭环操作模式,在整个行程范围内均可实现精准定位,避免传统开环压电器件存在的非线性、迟滞等问题。闭环控制系统可将实际位移实时反馈至控制器,形成负反馈调节,确保定位精度优于±0.1%满量程。此外,预加载弹簧机构保证了压电堆在受力状态下仍能正常伸缩,防止因外部负载导致陶瓷破裂,增强了可靠性和使用寿命。
机械接口遵循标准规格,便于集成到各类精密平台中。表面经过特殊处理,具有一定的抗腐蚀能力和耐磨性,适合在洁净室、真空或干燥氮气环境中使用。电气接口采用低噪声屏蔽引线或LEMO连接器,有效抑制电磁干扰,提升系统信噪比。由于其紧凑的圆柱形结构和轴向出力方式,非常适合空间受限但要求高刚度和高精度的装置集成。
AEDC-5570-Z13主要应用于对位移精度和响应速度有极高要求的科研与工业设备中。在半导体制造领域,它被用于晶圆对准系统中的微调机构,实现纳米级别的套刻精度;在光学系统中,常作为快速 steering mirror(快速转向镜)或 tunable lens(可调透镜)的驱动单元,用于激光路径动态校正、光束聚焦调节等任务。
在生物医学成像方面,该器件是共聚焦显微镜、超分辨显微镜和光学相干断层扫描(OCT)系统中Z轴扫描模块的理想选择,能够提供平稳且重复性极高的轴向移动,保障图像清晰度与三维重建准确性。同时,在计量检测设备如扫描探针显微镜(SPM)中,AEDC-5570-Z13负责样品台或探针臂的精细调控,确保探针与样品表面之间的距离恒定,提升测量分辨率。
此外,该器件也广泛用于引力波探测实验、量子计算装置中的光路锁定系统、航天器光学载荷的姿态微调等前沿科技领域。其高可靠性与宽温域适应能力使其可在极端环境下稳定运行,例如低温真空腔体或辐射防护区域。无论是实验室研究还是工业批量应用,AEDC-5570-Z13都能提供值得信赖的精密运动解决方案。
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