微机电系统（Micro Electro-Me-chanical Systems，MEMS）是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。比如由于微机电系统的面积对体积比比一般日常生活中的机械系统要大得多，其表面现象如静电、润湿等比体积现象如惯性或热容量等要重要。它们一般是由类似于生产半导体的技术如表面微加工、体型微加工等技术制造的。其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。
微机电系统是从微传感器发展而来的，已有几次突破性的进展：
70年代微机械压力传感器产品问世
80年代末研制出硅静电微马达
90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度计和数字微镜器件等相继规模化生产
充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应用前景
①和半导体电路相同，使用刻蚀、光刻等制造工艺，不需要组装、调整； ②进一步可以将机械可动部、电子线路、传感器等集成到一片硅板上； ③它很少占用地方，可以在一般的机器人到不了的狭窄场所或条件恶劣的地方使用； ④由于工作部件的质量小，高速动作可能； ⑤由于它的尺寸很小，热膨胀等的影响小； ⑥它产生的力和积蓄的能量很小，本质上比较安全。
经济利益：
1.大批量的并行制造过程；
2.系统级集成；
3.封装集成；
4.与IC工艺兼容。
技术利益：
1.高精度；
2.重量轻，尺寸小；
3.高效能；
4.材料优势。
1、在喷墨打印机里作为压电元件；
2、在汽车里作为加速规来控制碰撞时安全气囊防护系统的施用；
3、在汽车里作为陀螺来测定汽车倾斜，控制动态稳定控制系统；
4、在轮胎里作为压力传感器，在医学上测量血压；
5、数字微镜芯片；
6、在计算机网络中充当光交换系统，这是一个与智能灰尘技术的融合。
更多精彩内容，请登入维库电子通（wiki.dzsc.com）
维库电子通，电子知识，一查百通！
已收录词条48252个
