陶瓷基板是指在高温下将铜箔直接键合到氧化铝(AL2Q3)或氮化铝(ALN)陶瓷基片表面( 单面或双面)上制成的特殊工艺板,具有导热性强,操作环境温度宽,工艺能力好等特点,已成为大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。
1、氧化铝基板
2、莫来石基板
3、氮化铝基板
4、碳化硅基板
5、氧化铍基板
(1)机械性质
有足够高的机械强度,除搭载元件外,也 能作为支持构件使用;加工性好,尺寸精 度高;容易实现多层化;
表面光滑,无翘曲、弯曲、微裂纹等。
(2)电学性质
绝缘电阻及绝缘破坏电压高;
介电常数低;
介电损耗小;
在温度高、湿度大的条件下性能稳定,确保 可靠性。
(3)热学性质
热导率高;
热膨胀系数与相关材料匹配(特别是与Si的热 膨胀系数要匹配);
耐热性优良。
(4)其它性质
化学稳定性好;容易金属化,电路图形与其附着力强;
无吸湿性;耐油、耐化学药品;a射线放出量小;
所采用的物质五公害、无毒性;在使用温度范围 内晶体结构不变化;
原材料丰富;技术成熟;制造容易;价格低。
◆ 大功率电力半导体模块;半导体致冷器、电子加热器;功率控制电路,功率混合电路。
◆汽车电子,航天航空及军用电子组件。
◆智能功率组件;高频开关电源,固态继电器。
◆太阳能电池板组件;电讯专用交换机,接收系统;激光等工业电子。
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