电子探针主要有电子光学系统（镜筒）、X射线谱仪和信息记录、显示系统，如下图所示：

　　电子探针的原理是用细聚焦电子束入射样品表面。激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或特征能量）即可知道样品中所含元素的种类（定性分析），分析X射线的强度，则可知道样品中对应元素含量的多少（定量分析）。

　　1、样品制备方便，不损耗原始样品。

　　2、把分析成分与显微组织观察有机的结合起来。

　　3、分析的灵敏度达到10-4～10-6g，而量可达到10-15～10-18g。

　　4、分析区域可小到几个微米，能提供元素微观尺度的成分的不均匀信息。

　　1、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分鉴定。

　　2、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域。

　　3、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析。

　　4、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测。

　　5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。

　　电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析。可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分析（得到成分面分布图像）。还能全自动进行批量（预置9999测试点）定量分析。电子探针技术具有操作迅速简便（相对复杂的化学分析方法而言）、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点。

　　在冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益广泛地应用，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。