基于机器视觉图像处理技术研究开发芯片平整度检测系统(CCD平整度检测仪)是光电一体化的高精度在线检测设备，专门用于检测各种IC芯片针脚及其平整度（水平直线度、共面度）、间隙、针脚宽度等。系统简单设定后，即可自动识别、检测，无须人员操作。该产品图像清晰直观，可以方便快速准确的检验产品的平面度，明显提高工作效率和产品质量！芯片平整度检测系统在检测标定平面度时能达到0.01mm以上的精度。可根据检测要求设定平整度误差范围。对不符合要求的工件检测后输出控制信号，可用于剔除不合格品。

　　检测芯片针脚的个数；

　　可测量芯片针脚的多个位置的几何尺寸，包括pitch间隔、宽度、高度等；

　　检测针脚的共线度等平整度指标；

　　系统检测到质量问题时，能发出报警信号，并输出控制信号；

　　可对检查出的所有废品对应的图像能够存储和查看；

　　系统有自学习功能，且学习过程操作简单；

　　系统可通过RS232接口或以太网接收上位机控制信号。

　　操作界面清晰明了，简单易行，只需简单设定即可自动执行检测；

　　检测软件及算法完全自主开发，采用亚像素技术实现超高的检测精度；

　　可灵活设置模板查找、平均灰度值检测等多种检测算法；

　　可选择局部扫描功能，提高检测速度；

　　化光源设计，成像清晰均匀，确保不形成光斑；

　　支持多种IC产品的检测、具备产品在线自动搜索等功能；

　　安装简单，不影响原生产线工作；结构紧凑，易于操作、维护和扩充；

　　可靠性高，运行稳定，适合各种现场运行条件。

　　基于PC平台，系统可扩充性强，基于机器视觉软件平台可扩展管脚测量等功能，也可外接SPC软件。