硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。因此工作场所要通风，保持室内空气干燥。装置要严格密封，避免和空气、水分相接触。硅烷报警器，是检测硅烷气体泄漏的安全仪器。
硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。因此工作场所要通风，保持室内空气干燥。装置要严格密封，避免和空气、水分相接触。
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