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激光刻阻机
阅读:931时间:2022-03-02 13:48:25

    激光刻阻机,激光波长为1064/532/355nm,激光频率为200Hz-50KHz 。

设备特点

    --调阻精度高:的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束;四线制高速测量系统,测量时间仅为25us;拥有软件预调误差补偿功能;

    --调阻速度快:的激光器拥有极高的重复频率,在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度;德国进口扫描振镜,扫描速度极快;高精度分步重复机构,空气轴承,移动速度及加速度快;

    --可靠性高:整机配置核心器件均采用原装进口配置;采用花岗岩台座,稳定可靠;

    --功能强大:拥有温度实时补偿功能;同时具有激光划片和打标功能;

    --运行及维护成本低廉:采用半导体端面泵浦或光纤激光器;使用寿命长,性能稳定;电光转换效率高,节约用电成本;采用风冷系统,无须外置冷却设备;操作简单,无须高额培训成本;


技术参数

    --激光器系统:

    激光类型:半导体端面泵浦激光器/光纤激光器

    激光波长:1064/532/355nm

    激光平均功率:10W/20W/7W(UV355)

    激光频率:200Hz-50KHz

    典型光斑尺寸:30μm

    实际切口取决于材料、光学器件和波长;可根据需要选配532绿激光或355紫外激光小光斑达12μm

    泵浦源使用寿命:20,000—100,000小时

    冷却方式:风冷

    对焦方式:计算机程序控制

    --激光束定位系统:

    激光束运动范围:75mmX75mm(可选配其他规格)

    点到点运动时间:5ms(典型)

    大速度:7000mm/s

    重复定位精度:2.5μm

    激光束小步进:0.76μm

    --图像监视系统:

    监视方式:激光同轴监视

    大放大倍数:>100倍

    图像监视显示屏:19寸液晶

    --测量系统:

    激励方式:电流/电压激励

    恒流源:0.01μA~100mA计算机程控选择

    恒压源:0~20V计算机程控选择(可选其它电压范围)

    电阻测量方式:四线制加电流测电压

    直流电压测量:10mV~10V(满程电压)

    调节对象发热控制:程序可设定

    电阻测量精度:低阻:<0.05%+1%/R(R<100Ω)

    中阻:<0.05%

    高阻:<0.05%+0.02%r(r>0.1MΩ)

    电阻测量范围:0.01Ω-500MΩ

    电阻测量速度:25μs

    直流电压分辨率:0.16μV(在10mV满量程条件下)

    探针板:44针11组四线制(可选其它规格)

    探针板运动:计算机程序控制

    --计算机及软件系统:

    工业控制计算机(双核),17寸液晶

    操作系统:WindowsXP

    VB平台开发的可视化应用软件,界面友好,功能强大

    --分步重复运动系统:

    运动XY范围:290x260mm

    运动分辨率:1μm

    定位精度:小于6μm(带误差补偿)

    重复定位精度:小于3μm

    大运动速度:900mm/s

    具有温度补偿等功能

    --非接触温度测量:

    温度测量精度:0.2℃

    调阻温度修正:计算机程序控制

    --其它技术指标:

    供电电压:220VAC

    整机功耗:小于1000W


应用和市场

    应用和市场:主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、军工科研、片式电阻等行业。

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