固态射频电源又称晶体管射频电源。是相对于电子管射频电源来说的。 固态射频电源相对于电子管射频电源来说具有使用寿命更长功率控制更精密功率输出更稳定频率精度更高。其不会随着使用时间的增长而像电子管射频电源那样出现输出功率衰减的问题。
现已广泛应用于半导体工艺设备，LED与太阳能光伏产业，科学实验中的等离子体发生，射频感应加热，射频医疗美容，常压等离子体消毒清洗等。
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