它是利用线圈自感量的变化来实现测量的，它由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料如硅钢片或坡莫合金制成，在铁芯和衔铁之间有气隙，传感器的运动部分与衔铁相连。当被测量变化时，使衔铁产生位移，引起磁路中磁阻变化，从而导致电感线圈的电感量变化，因此只要能测出这种电感量的变化，就能确定衔铁位移量的大小和方向。
   这种传感器是变磁阻式传感器中的一种，另外两种分别为差动式传感器与气涡流式传感器。

   自感式电感传感器在测量位移和尺寸领域的应用，具有代表性的便是电感测厚仪。通过将测微螺秆4调节到给定厚度值，该厚度值可由度盘读出。被测带2在上下测量滚轮之间通过，通过杠杆使铁芯上下移动，从而改变线圈电感的变化则由相应的电桥电路测出，测出带材厚度的偏差值。
   此外变气隙型电感式尺寸传感器、螺管型轴向式电感传感器都可以实现位移和尺寸的测量。变气隙型电感式尺寸传感器壳体内两个平弹簧上悬挂着导磁体，导磁体可以通过微调螺钉1相对于传感器壳体移动。螺管型轴向式电感传感器，可换测头通过螺杆拧在测杆上，测杆可在滚珠导轨上作轴向移动，滚珠有四排，每排物，尺寸和形状误差都小于0.6um。
   一般这类型传感器被用做精密量仪的部件，如高精度的电感比较仪等。可以作为轴承滚动体自动分选机的主要测量部件，用来测量各种滚动体的尺寸和形状，零件的膨胀、伸长和应变等。