射频质谱仪又称四级杆质谱仪(QuadrupoleMassSpectrometer)。射频质谱仪核心部件为四级杆，在四级杆中，四根电极杆分为两两一组，分别在其上施加射频(RadioFrequency,RF)反相交变电压。位于此电势场中的离子，被选择的部分稳定后可到达检测器(Detector)，或者进入之后的空间进行后续分析。射频质谱仪的结构和电路都相对其他质谱仪要简单。成本也相对低廉。射频质谱仪被广泛的应用于色谱-质谱(Chromatography-MassSepctrometry)联用中。
　　通过多个四级杆的串联使用，可以实现多重质谱分析(TendemMassSpectrometry,TendemMS)，从而获得待测物的结构信息。
　　射频质谱仪每次只允许单一荷质比的离子通过，在扫描较大质量区间时，射频质谱仪所需的时间要远远大于飞行时间质谱(TimeofFlightMassSpectrometry,ToF-MS)，轨道离子阱质谱(OrbitrapMS)，线性离子阱(LinearIonTrap)等使用脉冲采样方式的质谱仪。

　　射频（RF）是Radio Frequency的缩写，表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～300GHz之间。射频简称RF射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。高频(大于10K)；射频（300K-300G）是高频的较高频段；微波频段（300M-300G）又是射频的较高频段。
　　在电子学理论中，电流流过导体，导体周围会形成磁场；交变电流通过导体，导体周围会形成交变的电磁场，称为电磁波。在电磁波频率低于100khz时，电磁波会被地表吸收，不能形成有效的传输，但电磁波频率高于100kHz时，电磁波可以在空气中传播，并经大气层外缘的电离层反射，形成远距离传输能力，我们把具有远距离传输能力的高频电磁波称为射频；射频技术在无线通信领域中被广泛使用，有线电视系统就是采用射频传输方式。

　　射频质谱仪的真空系统通常分为两级。
　　初级真空系统为二级真空系统提供基本真空支持。二级真空系统通常直接与质谱仪腔体相连，使质谱仪达到真空状态。值得注意的是，射频质谱仪的真空并非高真空(0.001 Pa)。离子在极杆中运动，大量的能量由电场中获得。为形成稳定的离子云，射频质谱中需要存在极为微量的气体用来吸收过量的动能。射频质谱仪的真空通常为飞行时间质谱(1e-5 Pa)的百分之一，为轨道离子阱质谱(1e-14 Pa)的百亿分之一。
　　初级真空
　　初级真空通常采用机械泵(Roughing Pump)或卷泵(Scroll Pump)。真空程度大约为1 mTorr (0.13 Pa)。
　　机械泵相对卷泵价格低廉，然而需要润滑油才能操作。在进行对气体敏感的分析时，尤其是大气科学领域，通常选择使用卷泵而不是机械泵。
　　二级真空
　　二级真空通常采用涡轮分子泵(Turbomolecular Pump)或分散泵(Diffusion Pump)。
　　涡轮分子泵
　　分子泵体积小，效率相对分散泵要高。通常的分子泵都可以支持350 L/min的气流速度，较为高端的分子泵可以实现1e-14 Pa的超高真空。
　　分散泵体积庞大，可达到1-2米。在现代仪器中，基本已经被涡轮分子泵取代。
　　对于四级杆质谱仪所需的真空条件，通常涡轮分子泵在30分钟内即可达到。分散泵则需要20-80小时。