火花源质谱法是学科岩矿分析与鉴定上的名词，是进行无机成分分析的质谱分析技术。用高频火花作为离子源，具有灵敏度高、选择效应小、结构简单等优点，特别适用于固体样品分析。
火花源质谱法是进行无机成分分析的质谱分析技术。用高频火花作为离子源，具有灵敏度高、选择效应小、结构简单等优点，特别适用于固体样品分析。由于火花源能量分散大，离子流不稳定，所以分析器一般均采用马陶赫—赫佐格型双聚焦离子光学系统。照相感光板多被用来记录同位素谱线，但也有采用电测方式。火花源质谱法几乎能分析所有的元素。由于绝大多数元素的电离效率彼此相差不超过3倍，因此，不需要进行校正就可获得半定量结果。若采用内标或同位素稀释法，则可获得定量结果。谱线简单，干扰相对较少。当严格控制火花条件和采用内标时方法准确度较高，精密度（RSD）在2%～5%。
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