--激光器系统
l 激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
l 激光波长：1064/532/355nm
l 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光频率：200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸：30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm
l 泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时
l 冷却方式：风冷
l 对焦方式：计算机程序控制
--激光束定位系统
l 激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）
l 点到点运动时间：5ms（典型）
l 速度：7000mm/s
l 重复定位精度：2.5µm
l 激光束最小步进：0.76µm
--图像监视系统
l 监视方式：激光同轴监视
l 放大倍数：>100倍
l 图像监视显示屏：19寸液晶
--测量系统
l 激励方式：电流/电压激励
l 恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择
l 恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）
l 电阻测量方式：四线制加电流测电压
l 直流电压测量：10mV~10V（满程电压）
l 调节对象发热控制：程序可设定
l 电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
l 电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ
l 电阻测量速度：25µs
l 直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）
l 探针板：44针11组四线制（可选其它规格）
l 探针板运动：计算机程序控制
--计算机及软件系统
l 工业控制计算机（双核），17寸液晶
l 操作系统：Windows XP
l VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大
--分步重复运动系统
l 运动XY范围：290x260mm
l 运动分辨率：1µm
l 定位精度：小于6µm（带误差补偿）
l 重复定位精度：小于3µm
l 运动速度：900mm/s
l 具有温度补偿等功能
--非接触温度测量
l 温度测量精度：0.2℃
l 调阻温度修正：计算机程序控制
--其它技术指标
l 供电电压：220V AC
l 整机功耗：小于1000W
