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激光调阻机
阅读:2293时间:2016-12-27 10:02:33

激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值,当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻过程。

产品特点

--调阻精度高

l 先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束
l 四线制高速测量系统,测量时间仅为25us
l 拥有软件预调误差补偿功能

--调阻速度快

l 先进的激光器拥有极高的重复频率,在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度
l 德国进口扫描振镜,扫描速度极快
l 高精度分步重复机构,空气轴承,移动速度及加速度快

--可靠性高

l 整机配置核心器件均采用原装进口配置
l 采用花岗岩台座,稳定可靠

--功能强大

l 拥有温度实时补偿功能
l 同时具有激光划片和打标功能

--运行及维护成本低廉

l 采用半导体端面泵浦或光纤激光器
l 使用寿命长,性能稳定
l 电光转换效率高,节约用电成本
l 采用风冷系统,无须外置冷却设备
l 操作简单,无须高额培训成本

技术参数

--激光器系统

l 激光类型:半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
l 激光波长:1064/532/355nm
l 激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光频率:200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸:30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长;可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm
l 泵浦源使用寿命:20,000—100,000小时
l 冷却方式:风冷
l 对焦方式:计算机程序控制

--激光束定位系统

l 激光束运动范围:75mmX75mm(可选配其他规格)
l 点到点运动时间:5ms(典型)
l 最大速度:7000mm/s
l 重复定位精度:2.5µm
l 激光束最小步进:0.76µm

--图像监视系统

l 监视方式:激光同轴监视
l 最大放大倍数:>100倍
l 图像监视显示屏:19寸液晶

--测量系统

l 激励方式:电流/电压激励
l 恒流源:0.01µA~100mA计算机程控选择
l 恒压源:0~20V计算机程控选择(可选其它电压范围)
l 电阻测量方式:四线制加电流测电压
l 直流电压测量:10mV~10V(满程电压)
l 调节对象发热控制:程序可设定
l 电阻测量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
l 电阻测量范围:0.01Ω-500MΩ
l 电阻测量速度:25&micro;s
l 直流电压分辨率:0.16&micro;V(在10mV满量程条件下)
l 探针板:44针11组四线制(可选其它规格)
l 探针板运动:计算机程序控制

--计算机及软件系统

l 工业控制计算机(双核),17寸液晶
l 操作系统:Windows XP
l VB平台开发的可视化应用软件,界面友好,功能强大

--分步重复运动系统

l 运动XY范围:290x260mm
l 运动分辨率:1&micro;m
l 定位精度:小于6&micro;m(带误差补偿)
l 重复定位精度:小于3&micro;m
l 最大运动速度:900mm/s
l 具有温度补偿等功能

--非接触温度测量

l 温度测量精度:0.2℃
l 调阻温度修正:计算机程序控制

--其它技术指标

l 供电电压:220V AC
l 整机功耗:小于1000W

应用和市场

主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于
l 厚膜混合集成电路
l 电子元器件
l 汽车电器
l 传感器
l 军工科研
l 片式电阻等行业

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