EBMS100505B600 是一款由 EPCOS(TDK 的子公司)制造的多层压电陶瓷执行器,广泛用于需要高精度运动控制的应用。该执行器基于压电陶瓷材料,利用电致伸缩效应实现微米级甚至纳米级的精确位移控制。EBMS100505B600 具有结构紧凑、响应速度快、分辨率高和无磨损运行等优点,是精密定位系统、光学调整装置和微型机械系统中的关键组件。
工作电压:150 V
位移范围:约 6 μm(在150 V下)
尺寸:10 mm x 5 mm x 0.5 mm(近似)
材料:PZT(锆钛酸铅)压电陶瓷
电容值:约 100 nF(典型值)
最大工作温度:125 °C
绝缘电阻:> 10^12 Ω
EBMS100505B600 是一款高性能压电陶瓷执行器,适用于需要高精度、快速响应和小体积设计的应用场景。其核心工作原理是基于压电效应,即在施加电压时,压电材料会产生微小但精确的形变。该执行器的位移范围约为 6 微米,在 150 V 电压下即可实现满行程,适用于高精度定位系统。
该器件采用多层结构设计,有效提高了电场作用下的位移输出,同时降低了驱动电压。其紧凑的尺寸(10 mm x 5 mm x 0.5 mm)使其非常适合集成到空间受限的设备中,如微型机器人、光学调焦系统和精密测量仪器。EBMS100505B600 还具有非常高的响应速度,能在毫秒级时间内完成动作,适用于高速控制应用。
此外,该执行器具有良好的稳定性和长寿命,因为压电陶瓷本身没有机械磨损部件。其绝缘电阻大于 10^12 Ω,确保了在高电压下的稳定运行。工作温度范围较宽,最高可达 125 °C,可在高温环境下保持性能稳定。
EBMS100505B600 常用于需要高精度微位移控制的系统,如半导体制造设备中的晶圆对准、光学系统中的自动对焦、扫描探针显微镜(SPM)中的探针定位、激光调谐系统和微型机电系统(MEMS)中的执行机构。由于其响应速度快、位移精度高,也常用于高精度传感器和精密机械控制系统中。
EBMS100505B600 的替代型号包括 EBMU100505B600、NAC2003 和 PI Ceramic 的 CEM251.80。这些型号在尺寸、位移范围和驱动电压方面具有相似特性,适用于大多数相同的应用场景。