CMUT02是一种电容式微机械超声波换能器(CMUT - Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer),主要用于超声波成像和传感应用。CMUT技术相较于传统的压电超声换能器,具有更高的灵敏度、更宽的带宽以及更易于集成的优势。CMUT02通常用于医学成像、工业无损检测以及高精度距离测量等场景。
工作频率:2 MHz
电容值:约200 pF
等效串联电阻(ESR):<100 Ω
最大工作电压:50 V
灵敏度:>-200 dB
带宽:>100%
封装类型:陶瓷或金属封装
CMUT02的主要特性包括宽频带响应、高机电耦合系数、低插入损耗和高分辨率。其基于MEMS工艺制造,使得器件可以以阵列形式集成,从而实现多通道超声成像。此外,CMUT02具有良好的温度稳定性和机械耐用性,适用于各种复杂环境下的测量和成像任务。
CMUT02的结构由一个或多个微小的电容单元组成,每个单元包括一个可移动的薄膜和一个固定的背电极。当施加电压时,薄膜会因静电引力而振动,从而发射超声波;同样,接收到的超声波会引起薄膜振动,改变电容值,从而被检测到。
CMUT02的制造工艺通常基于硅基MEMS技术,使其可以与CMOS电路集成,便于实现智能传感器系统。
CMUT02广泛应用于医学超声成像(如内窥镜超声、血管内超声、三维超声)、工业无损检测(如材料缺陷检测、厚度测量)、生物识别(如指纹识别、虹膜识别)、机器人传感(如超声波距离测量)以及消费电子领域(如手势识别、超声波触控)。由于其优异的性能,CMUT02也常用于研究机构的先进超声技术开发。
CMUT01, CMUT03, PMUT系列, P4-0200 from VisualSonics