MMD-08EZN1R0M-M1 是一款由 TDK(东电化)制造的多层压电陶瓷致动器(Piezoelectric Actuator),属于其 MicronMeter Driver 系列。该器件设计用于需要高精度位移控制的应用场合,例如精密光学对准、微机电系统(MEMS)、扫描探针显微镜(SPM)和精密加工设备等。该致动器采用紧凑型设计,能够在低电压下提供高分辨率和快速响应。该型号的额定电压为8V,最大位移为1.0μm,适用于需要纳米级精确控制的高端应用。
类型:压电陶瓷致动器
额定电压:8V
最大位移:1.0μm
尺寸(长×宽×高):约5.0mm × 5.0mm × 2.5mm(具体以数据手册为准)
工作温度范围:-25°C 至 +85°C
安装方式:表面贴装(SMD)
极性:有极性
电容:约1.0μF(典型值,具体可能因批次不同而略有差异)
MMD-08EZN1R0M-M1 是一款高性能的微型压电陶瓷致动器,具备出色的位移精度和响应速度。该器件采用多层陶瓷结构,能够在相对较低的驱动电压下实现较大的位移输出。其核心特性包括:
1. 高精度控制:最大位移可达1.0μm,并且在微小电压变化下即可实现纳米级位移调整,适用于高精度定位和控制应用。
2. 快速响应:由于压电材料的固有特性,该致动器的响应时间极短,通常在微秒级别,适合高速精密操作。
3. 小型化设计:该致动器体积小巧,非常适合集成在空间受限的精密仪器或微系统中。
4. 高稳定性:具有良好的机械刚性和重复性,长期使用后仍能保持稳定的性能。
5. 低功耗:在静态工作状态下,压电致动器几乎不消耗电流,有助于降低系统整体功耗。
6. 表面贴装封装:支持SMD工艺,便于自动化生产和批量安装。
需要注意的是,由于压电陶瓷材料具有脆性,因此在安装和使用过程中应避免施加过大的机械应力。此外,为了充分发挥其性能,建议使用专用的压电驱动电路进行控制。
MMD-08EZN1R0M-M1 主要应用于需要高精度、高分辨率运动控制的领域。常见的应用场景包括:
1. 精密光学系统:如光纤对准、光学镜片调节、激光束控制等。
2. 微机电系统(MEMS):用于驱动微小机械结构或传感器,实现精确的微位移控制。
3. 扫描探针显微镜(SPM):如原子力显微镜(AFM)中的探针扫描平台控制。
4. 精密测量设备:如纳米级位移测量仪、高精度传感器校准装置等。
5. 半导体制造设备:用于晶圆对准、微调光学系统或精密操作机械臂。
6. 医疗设备:如微创手术器械、微流控系统中的精确流体控制。
7. 通信设备:用于光通信系统中的波长调谐或光路调节。
该致动器凭借其紧凑的结构和出色的性能,成为许多高端精密仪器中不可或缺的执行元件。
MMD-05EZN1R0M-M1, MMD-10EZN1R0M-M1, NAC2010K08S, APT PTZ0805