类型：质量流量控制器
　　介质：气体
　　流量范围：0 ～ 1000 sccm（标准毫升/分钟，可根据需求定制）
　　精度：±1% F.S.（满量程）
　　重复性：±0.2% F.S.
　　工作温度范围：0°C ～ 50°C
　　供电电压：18 ～ 30 VDC
　　输出信号：0 ～ 5 VDC 或 4 ～ 20 mA（可选）
　　通讯接口：模拟量控制
　　响应时间：＜1 sec
　　最大工作压力：取决于气体类型和系统配置
　　泄漏率：＜1 x 10^-9 atm·cc/s He

MKS-1201000US 具备多项先进特性，确保其在各种苛刻环境下的稳定运行。首先，该器件采用热式质量流量传感技术，能够直接测量气体的质量流量，无需额外的压力和温度补偿。这种技术基于加热电阻丝的热传导原理，通过测量气体带走的热量来计算流量值，具有极高的精度和灵敏度。
　　其次，MKS-1201000US 集成了高精度的控制阀门和闭环控制系统，能够实现快速、稳定的流量调节。控制器根据测量值与设定值的差异，自动调整阀门开度，确保气体流量始终维持在目标值附近，响应时间小于1秒，显著提升了系统的动态控制能力。
　　此外，该器件具备广泛的气体兼容性，支持多种惰性气体和反应性气体的测量与控制，用户可根据实际应用需求选择合适的气体种类进行标定。设备的外壳采用高强度铝合金材料，具有良好的耐腐蚀性和机械稳定性，适用于各种工业环境。
　　在接口方面，MKS-1201000US 提供标准的模拟量输入输出接口（0-5 VDC 或 4-20 mA），方便与PLC、数据采集系统或计算机控制系统集成。同时，设备内置自我诊断功能，可实时监测运行状态，提供故障报警信息，确保系统的安全运行。
　　最后，MKS-1201000US 通过 CE、UL 等国际认证，符合工业级电磁兼容性和安全性要求，适用于各种高要求的应用场景。

MKS-1201000US 主要应用于需要高精度气体流量测量与控制的领域。在半导体制造中，它常用于化学气相沉积（CVD）、刻蚀、离子注入等工艺过程中的气体供给控制，以确保工艺条件的稳定性和一致性。在实验室设备中，该器件可用于气体分析仪、环境监测系统、气相色谱仪等设备，提供可靠的流量测量与控制功能。
　　此外，MKS-1201000US 还广泛用于医疗设备、燃料电池测试、食品包装气体控制、真空镀膜设备等领域。其高精度、快速响应和良好的气体兼容性使其成为许多精密控制系统中不可或缺的组成部分。

MKS-1201000US 可以被以下型号替代：MKS-1101000US、MKS-1201000UW、MKS-1201000SI、Brooks 0254YB2411A、Alicat MC-1000-100SCCM-D。