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陶瓷压力传感器
阅读:97时间:2018-08-06 10:46:26

    抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递,压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥(闭桥),由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号,标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和应变式传感器相兼容。

工作原理

   通过激光标定,传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性,传感器自带温度补偿0~70℃,并可以和绝大多数介质直接接触。

基本结构

   陶瓷压力传感器主要由瓷环、陶瓷膜片和陶瓷盖板三部分组成。陶瓷膜片作为感力弹性体,采用95%的AL2O3瓷精加工而成,要求平整、均匀、质密,其厚度与有效半径视设计量程而定。瓷环采用热压铸工艺高温烧制成型。陶瓷膜片与瓷环之间采用高温玻璃浆料,通过厚膜印刷、热烧成技术烧制在一起,形成周边固支的感力杯状弹性体,即在陶瓷的周边固支部分应形成无蠕变的刚性结构。在陶瓷膜片上表面,即瓷杯底部,用厚膜工艺技术做成传感器的电路。陶瓷盖板下部的圆形凹槽使盖板与膜片之间形成一定间隙,通过限位可防止膜片过载时因过度弯曲而破裂,形成对传感器的抗过载保护。

基本特性

   陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40~135℃,而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度>2kV,输出信号强,长期稳定性好。高特性,低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向,在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势,在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩散硅压力传感器。

性能特点

   坚固的陶瓷敏感膜片
   零点、满量程激光标定
   卓越的抗腐蚀、抗磨损性能
   抗冲击、抗震动
   高精度、高稳定性
   宽的工作温度范围
   体积小巧,易封装
   最具竞争力的价格

技术参数

   供电电压:5~30VDC
   桥臂电阻:11k±20%
   量程范围:100kPa~60Mpa
   响应时间:<1mS
   综合误差(包括:线性、迟滞、重复性):0.2~0.4FS%
   零点输出:0±0.2mV/V
   满量程输出:2.0~4.8mV/V
   温度特性(温补范围:0~70℃):±0.015 %FS/℃
   稳定性:<0.2%FSO/年
   工作温度:-40~135℃
   抗绝缘性:>2kV

常用量程

   0…100kPa
   0…200kPa
   0…500kPa
   0…1Mpa
   0…2Mpa
   0…5Mpa
   0…10Mpa
   0…25Mpa
   0…40Mpa
   0…60Mpa
   0…200kPa

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