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偏压电源
阅读:470时间:2018-04-10 09:35:02

偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压。

目录

作用

  1)提高真空等离子体内带电粒子的能量,轰击清洗所镀工件表面,使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层,从而提高后续沉积膜层的结合力
  2)提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量,提高膜层与工件基体结合力
  3)靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则,调整膜层颜色
  4)克服偏压电源工作于真空等离子体环境中,由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件

说明

  偏压电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现,调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整,在满足工艺所需电压同时,通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。

电源功率范围
10-80KW
输入电源
AC380V三相四线制AC50-60HZ±10%
输出方式
脉冲
输出电压
0-180V 0-500V 0-1000V
脉冲频率
40KHZ
脉冲百分比
10-90%连续调节
输出电压稳定率
预前稳压,负载电压10%
冷却方式
10-40KW风冷 40-80KW水冷
使用环境
环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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