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MEMS压力传感器
阅读:666时间:2018-01-26 17:58:06

MEMS压力传感器是一种薄膜元件,受到压力时变形。可以利用应变仪(压阻型感测)来测量这种形变,也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。这两种方法都很流行,轮胎压力监测系统使用比较结实的压阻方法。

目录

应用

  1.应用于汽车行业
  MEMS压力传感器在汽车中的一个新应用是传动系统压力感测,通常用于自动装置之中,但也用于新型双离合器传动系统。德国厂商推出了一款MEMS解决方案,使用油来保护硅薄膜,使其可以最高耐受70巴的压力。博世几年前也曾为MEMS压力传感器带来巨大变化,当时使用的是多孔硅,带来了高度可靠的MEMS器件,这些器件已用于目前的侧面气囊等应用之中。
  2.应用于医疗市场
  压力传感器主要充当外科手术使用的一次性低成本导管。但它们也用于昂贵的设备之中,在连续气道正压通气(CPAC)机中感测压力与差流。
  3.应用于工业领域
  MEMS压力传感器的主要应用包括采暖通风及空调(HVAC)、水平面测量、各种工业过程与控制应用。例如,除了精确的高度气压测量,飞机使用传感器监测引擎、襟翼等其它部件。

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