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微压力传感器
阅读:522时间:2017-12-06 13:53:53

  微压力传感器是采用半导体材料和MEMS工艺制造的新型压力传感器。与传统压力传感器比拟,微压力传感用具有精度高、敏捷度高、动态特性好、体积小、耐侵蚀、本钱低等长处。纯单晶硅的材料疲惫小,采用这种材料制造的微压力传感器的长期不乱性好。同时,微压力传感器易于与微温度传感器集成,增加温度补偿精度,大幅进步传感器的温度特性和丈量精度。假如将2个微压力传感器集成,又可以实现静压补偿,从而进步压力传感器的静压特性。由此可见,微压力传感用具有很多传统压力传感器不具备的长处,能够很好地满足石化行业对压力传感器的需求。

 

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